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序言
1
序言
2
半导体的历史
3
半导体器件物理
开关半导体器件物理子章节
3.1
载流子
3.2
载流子的传输
4
半导体材料
开关半导体材料子章节
4.1
硅
4.2
锗
4.3
其它
5
半导体器件
开关半导体器件子章节
5.1
二极管
5.2
MOS器件
5.2.1
NMOS
5.2.2
PMOS
5.2.3
CMOS
5.3
双极型器件
5.4
其它(待续)
5.4.1
Bi-CMOS
6
半导体工艺
开关半导体工艺子章节
6.1
晶圆的生长
6.2
薄膜的生长
6.3
氧化
6.4
淀积
6.5
光刻
6.6
蚀刻
6.7
工艺整合
7
半导体生产环境及设备
开关半导体生产环境及设备子章节
7.1
净化车间
7.2
其它(待续)
8
其它(待续)
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半导体器件和技术
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:
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