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目次
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序言
1
序言
2
半導體的歷史
3
半導體器件物理
切換 半導體器件物理 子章節
3.1
載流子
3.2
載流子的傳輸
4
半導體材料
切換 半導體材料 子章節
4.1
矽
4.2
鍺
4.3
其它
5
半導體器件
切換 半導體器件 子章節
5.1
二極體
5.2
MOS器件
5.2.1
NMOS
5.2.2
PMOS
5.2.3
CMOS
5.3
雙極型器件
5.4
其它(待續)
5.4.1
Bi-CMOS
6
半導體工藝
切換 半導體工藝 子章節
6.1
晶圓的生長
6.2
薄膜的生長
6.3
氧化
6.4
澱積
6.5
光刻
6.6
蝕刻
6.7
工藝整合
7
半導體生產環境及設備
切換 半導體生產環境及設備 子章節
7.1
淨化車間
7.2
其它（待續）
8
其它（待續）
切換目次
半導體器件和技術
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氧化
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分類
：
半導體器件和技術
